特徴

• 当社の真空乾燥機は数十リットルの小容量実験機から数千リットルの大容量生産機まで対応します
• 低温処理ができる
• 含水率を極めて少なくできる
• 角槽、丸槽どちらでも対応できます
• ワークが変質、変色しにくい
• 異物の混入による汚染がないのでクリーンです
• 手動運転も自動運転にも対応します
• 単品製作なのでお客様のご要望にフレキシブルに対応できます
• 主要部材質は鉄、ステンレス、アルミなど多彩に選べます

　仕様
 
 

型式	ＯＶＤ−６０Ｓ	ＯＶＤ−８００
内寸［ｍｍ］	７００＊７００＊７５０（ＷＤＨ）	φ2100*2100（内径＊直胴部)
内容積[m3]	０．３８	８．２
設置必要寸法［ｍｍ］	２５００＊１５００＊１９００（ＬＷＨ）	６０００＊３０００＊６０００（ＬＷＨ）
加熱方式	遠赤外線石英ガラス管ヒーター	槽内シーズヒーター
ヒーター容量［ｋＷ］	１０	１２
制御方式	ＰＩＤ制御	ＰＩＤ制御
最高使用温度[℃]	１５０	１５０
概算重量［ｋｇ］	１５００	６０００
排気系	水封式真空ポンプ	油回転真空ポンプ
運転圧力［ｋＰａ］	２６	０．１
ワーク	セミコン製造装置用機械加工部品	モーターコイル
	参考写真	参考写真

　その他
 

• 圧縮空気、封水、冷却水などは別途必要です
• ワークにより最適なヒーター容量、制御方法を採用
• なんなりとお問い合せ下さい